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真空ポンプ各種(ロータリポンプ、メカニカルブースタポンプ、拡散ポンプ等)のオーバーホール行います。 軸のあるもの(RP、MBP)は稼動し続ければ必ずベアリングにガタがきたり、オイルシールが硬くなってリークの原因と なったりします。部品の劣化だけが問題だけではなくオイル交換だけでは出てこれないカス等の蓄積があります。 それらを全て排除し、ポンプ内には綺麗なオイルしかない状態にします。 拡散ポンプではジェットやポンプ本体に付着したオイルのかたまりによって真空引きの速度が遅くなります。 その塊を除去し、新しいオイルを入れ最善の状態にします。同時にバッフルにも多くのオイルが付着し固まっているので 綺麗にします。取り替えることが出来るパッキン類は全て交換します。
オイル交換、オーバーホールなどのメンテナンス安く確実に行います。
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